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主营先进陶瓷精密部件,专注替代进口,可按需定制
深耕先进陶瓷领域,掌握核心技术,专注替代进口,品质对标国际
自主技术,性能对标国际品牌,显著降低成本与交期
从材料配方到成品,提供全流程个性化定制
全套日瑞精密加工与检测设备,保障产品一致性与可靠性
多位国内外先进陶瓷专家领衔,技术力量雄厚
通过ISO认证,拥有自主专利,掌握先进陶瓷核心工艺,技术实力领先
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方泰新材料推出8寸2μm超薄多孔陶瓷真空承载盘,板厚仅0.8mm、微孔孔径精准控制在2μm,专为100μm以下超薄晶圆的减薄、抛光、检测无痕吸附场景开发,可替代进口高端微孔陶瓷卡盘,支持4~12英寸、0.5~3mm、2~20μm来图定制。
陶瓷吸盘不仅用于半导体晶圆加工,在LCD/OLED玻璃基板、光学镜片和蓝宝石衬底的加工中也扮演着关键角色。深圳方泰新材料为您解析陶瓷吸盘在光电显示领域的新应用场景和选型差异,拓展核心产品的应用边界。
在CVD和刻蚀工艺中,静电吸盘负责固定晶圆,陶瓷加热器负责温度控制,两者的协同配合是实现晶圆精密温控的关键。深圳方泰新材料为您解析静电吸盘与陶瓷加热器的集成方案和选型要点,帮助设备工程师设计高效的晶圆温控系统。
2026年上半年,方泰新材料通过ISO9000质量体系认证、获评高新技术企业、推出8寸2μm超薄多孔陶瓷承载盘,持续深耕半导体陶瓷零部件赛道。本文回顾上半年公司在品质、技术和产品方面的进展。
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