国产替代  ◆  快速交付

先进陶瓷精密部件,替代进口方案,交期缩短30%

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陶瓷真空吸盘

高精度,已大批量产

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技术源自日本14年

本地化沉淀,资深半导体技术团队,支持来图或来样定制

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滑动

我们的优势

深耕先进陶瓷领域,掌握核心技术,专注替代进口,品质对标国际

替代进口

自主技术,性能对标国际品牌,显著降低成本与交期

按需定制

从材料配方到成品,提供全流程个性化定制

高精密品质

全套日瑞精密加工与检测设备,保障产品一致性与可靠性

专家团队

多位国内外先进陶瓷专家领衔,技术力量雄厚

资质荣誉

通过ISO认证,拥有自主专利,掌握先进陶瓷核心工艺,技术实力领先

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质量管理体系认证证书

多孔陶瓷吸盘

改进型静电吸盘

勾槽型陶瓷吸盘专利证书

陶瓷加热器

陶瓷吸附悬浮平台

陶瓷真空机械手臂

凸点陶瓷吸盘

新闻资讯

关注方泰新材料最新动态、行业前沿、技术突破与展会信息,助您始终领先一步

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静电吸盘在先进制程中的应用挑战与陶瓷解决方案

随着芯片制程推进到3纳米以下,静电吸盘在吸附精度、温度均匀性和抗等离子体腐蚀方面面临更高要求。陶瓷层的材料配方、平面度和致密度决定了ESC在高密度等离子体环境中的表现。深圳方泰新材料可提供ESC用高精度陶瓷基板定制。

032026-08

陶瓷绝缘件的绝缘性能测试方法与质量控制

陶瓷绝缘件在半导体高压设备中承担电隔离功能,其绝缘性能的可靠性直接关系到设备安全和工艺稳定。深圳方泰新材料介绍陶瓷绝缘件的核心测试项目——耐压测试、绝缘电阻测试、局部放电测试的原理与判定标准,帮助客户建立绝缘件的质量验收方法。

032026-08

陶瓷加热器在半导体设备中的温控方案与选型

陶瓷加热器在CVD、刻蚀和检测设备中用于精确控制晶圆温度。温控方案的可靠性取决于陶瓷基板材料、加热电路设计和温度传感系统的配合。深圳方泰新材料从实际应用出发,解析陶瓷加热器温控方案的搭建要点和选型逻辑。

032026-08

陶瓷承载盘在超薄晶圆减薄工艺中的应用与选型

超薄晶圆减薄工艺要求承载盘具备极高的平面度和吸附均匀性,陶瓷承载盘相比金属承载盘在平整度保持、低颗粒污染和热稳定性方面优势明显。深圳方泰新材料可定制不同孔径和厚度的超薄陶瓷承载盘,适配8寸及12寸减薄设备。

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