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针式卡盘(也称:凸点吸盘)

应用:

半导体曝光设备的晶圆固定

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针式卡盘(也称:凸点吸盘),是半导体行业常用的工业吸盘,具有抗高温、抗腐蚀、耐磨损等特点。它通常由碳化硅或氧化铝陶瓷材料制成,表面有凸起的点状结构,用于提供更好的吸附力和稳定性。

凸点吸盘广泛应用于自动化生产线,用于吸取、固定、传送和搬运硅片、晶圆和各类工件和物料。


特点:

耐高温:碳化硅和氧化铝陶瓷材料具有优秀的高温性能,可在高温环境下长时间使用,不易变形或破裂。

抗腐蚀:能够耐受各种化学腐蚀,适用于处理腐蚀性液体或气体的工作环境。

耐磨损:硬度高,具有很好的抗磨损性能,可长时间使用而不失效。

吸附力强:凸点结构使吸盘接触面积减小,从而增加了单位面积上的吸附力,能更牢固地吸附工件。

稳定性高:由于材料的特性,凸点吸盘具有较高的稳定性,能够长时间稳定地工作。

减少污染:陶瓷晶圆卡盘正在从凹槽发展到引脚,以缩小接触面积,减少部分污染并改善翘曲矫正。


Pin针式卡盘3.jpg

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