针式卡盘

针式卡盘（也称：凸点吸盘），是半导体行业常用的工业吸盘，具有抗高温、抗腐蚀、耐磨损等特点。它通常由碳化硅或氧化铝陶瓷材料制成，表面有凸起的点状结构，用于提供更好的吸附力和稳定性。

凸点吸盘广泛应用于半导体生产设备，用于吸取、固定、传送和搬运硅片、晶圆和各类工件和物料。

产品特点

碳化硅和氧化铝陶瓷材料具有优秀的高温性能，可在高温环境下长时间使用，不易变形或破裂。

能够耐受各种化学腐蚀，适用于处理腐蚀性液体或气体的工作环境。

硬度高，具有很好的抗磨损性能，可长时间使用而不失效。

凸点结构使吸盘接触面积减小，从而增加了单位面积上的吸附力，能更牢固地吸附工件。

由于材料的特性，凸点吸盘具有较高的稳定性，能够长时间稳定地工作。

陶瓷晶圆卡盘正在从凹槽发展到引脚，以缩小接触面积，减少部分污染并改善翘曲矫正。

根据晶圆形状调整卡盘形状

根据规格定制设计

半导体曝光设备的晶圆固定

晶圆检测设备的晶圆固定

凸点吸盘的选择应根据所需的吸盘直径、凸点数量、吸盘形状等多重因素考虑，并依据吸附物体的尺寸、重量以及工作环境的要求等做出合适的选择。

我们采用精密平面加工技术，针对订制实施创造性设计，提供最佳针卡盘，满足客户的严格要求。

根据晶圆的形状，可以自由地调整针卡盘的平面形状，为了提高吸附的响应性可以特制吸附区域或针的模式。

可以选择氧化铝陶瓷或碳化硅。

正在开发高精度的SiC / SSiC等针式卡盘，用于晶圆曝光，检查，运输等工艺，这些卡盘具有高度的柔韧性，非常平整，并且对恶劣的工作环境具有极强的耐受性