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Manufacturing Process

/news/show-54.html

氧化铝陶瓷在半导体设备中的应用全解析

氧化铝陶瓷是半导体设备中使用量最大的先进陶瓷材料,从吸盘到绝缘部件再到密封件,几乎贯穿整个芯片制造流程。本文从材料特性出发,详解氧化铝陶瓷在半导体设备中的典型应用场景。

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/news/show-53.html

先进陶瓷材料的等静压成型技术详解

等静压成型是制造高性能陶瓷零部件的关键工艺之一。本文从工艺原理出发,详解冷等静压和温等静压的区别、适用场景,以及为什么半导体级陶瓷零件必须采用等静压成型。

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/news/show-50.html

半导体刻蚀工艺全流程与核心设备解析

刻蚀是芯片制造中用量最大的核心工艺之一,也是陶瓷零部件应用最密集的环节。本文从头梳理刻蚀工艺全流程,解析各类刻蚀设备的结构特点以及陶瓷部件在其中的关键作用。

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/news/show-47.html

陶瓷材料的烧结技术与致密度控制

烧结是陶瓷制造中最关键的工序之一,决定了陶瓷零件的最终密度、强度和尺寸精度。本文详解常压烧结、热压烧结和气氛烧结三种主流工艺,以及如何控制烧结过程中的致密度。

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/news/show-46.html

陶瓷零部件在CMP抛光设备中的应用

CMP(化学机械抛光)是芯片制造中实现晶圆全局平坦化的关键工艺,对零部件的耐磨性、热稳定性和平面度要求极高。本文解析CMP设备结构及陶瓷零部件在其中的核心作用。

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